ASML terus melakukan penelitian dan pengembangan untuk meningkatkan kualitas produknya. Perusahaan ini menginvestasikan miliaran dolar untuk menciptakan teknologi litografi yang lebih canggih dibandingkan kompetitornya.
Pada dekade 1990-an, ASML mulai mendapatkan perhatian dari berbagai perusahaan pembuat chip karena mampu menghadirkan solusi yang lebih efisien.
Perkembangan terbesar terjadi ketika ASML berhasil mengembangkan teknologi EUV setelah bertahun-tahun melakukan riset dan investasi besar-besaran. Teknologi ini kemudian menjadi standar baru dalam industri semikonduktor modern.





