Perusahaan ini didirikan pada tahun 1984 sebagai kerja sama antara Philips dan ASM International. Awalnya ASML hanyalah perusahaan kecil yang beroperasi di sebuah bangunan sederhana di Belanda.
Seiring berkembangnya industri teknologi, ASML berhasil menciptakan berbagai inovasi dalam teknologi litografi yang membuat proses pembuatan chip menjadi lebih cepat, akurat, dan efisien.
Saat ini, ASML menjadi satu-satunya perusahaan di dunia yang mampu memproduksi mesin Extreme Ultraviolet Lithography (EUV), yaitu teknologi paling canggih yang digunakan untuk membuat chip generasi terbaru.





